EPSXA Series
-
EPSXA
.
- Direction：
- X轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 70mm*70mm,80mm*80mm,100mm*100mm,120mm*120mm
- Stroke length（mm）：
- 25mm,30mm,40mm,50mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
-
EPSYA
.- Direction：
- XY轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 70mm*70mm,80mm*80mm,100mm*100mm,120mm*120mm
- Stroke length（mm）：
- 25mm,30mm,40mm,50mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
-
EPSYZLA
.- Direction：
- XYZ轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 70mm*70mm,80mm*80mm,100mm*100mm,120mm*120mm
- Stroke length（mm）：
- 25mm,30mm,40mm,50mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
-
EPSZLA
.- Direction：
- Z轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 70mm*70mm,80mm*80mm,100mm*100mm,120mm*120mm
- Stroke length（mm）：
- 25mm,30mm,40mm,50mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
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