ETSXA Series
-
ETSXA4-15
.
- Direction：
- X轴,XY轴,Z轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 40mm*40mm
- Stroke length（mm）：
- 15mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
-
ETSXA6-20
.- Direction：
- X轴,XY轴,Z轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 60mm*60mm
- Stroke length（mm）：
- 20mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
-
ETSXA6-30
.- Direction：
- X轴,XY轴,Z轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 60mm*70mm
- Stroke length（mm）：
- 30mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
-
ETSZA
.- Direction：
- Z轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 40mm*40mm
- Stroke length（mm）：
- 4mm,8mm,12mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 2.5mm/s,3.7mm/s
-
ETSYZLA
.- Direction：
- XYZ轴
- Material：
- 铝
- Size（mm）：
- 40mm*40mm,60mm*60mm,60mm*70mm
- Stroke length（mm）：
- 15mm,20mm,30mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 10mm/s
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