Alignment Stage
-
ASXXY202312C2-95-3021-D-U(PCD46)-N-TH
.
- Size（mm）
- 200mm*200mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±3μm
- Angle of travel（°）
- ±10.5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1202
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY35351002-90-3010-D-42F3B
.- Size（mm）
- 350mm*350mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±3μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 80kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
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