Alignment Stage
-
ASXXY20200802-80-1008-42
.
- Size（mm）
- 200mm*200mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±4°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0802
- Stroke length（mm）：
- ±5mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY202312C2-95-3021-D-U(PCD46)-N-TH
.- Size（mm）
- 200mm*200mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±3μm
- Angle of travel（°）
- ±10.5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1202
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY20210802-70-1411-42F1
.- Size（mm）
- 200mm*200mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±5.5°
- Dynamic load（kg）：
- 15kg
- Lead screw specifications：
- 0802
- Stroke length（mm）：
- ±7mm
- Number of axles：
- XXY
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