Alignment Stage
-
ASXXY232551002-87-3010-D-U(PCD70)-N
.
- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±10°
- Dynamic load（kg）：
- 90kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY52523C5-115-5010-D-20230707
.- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 70kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY52523C5-115-5010-D
.- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 70kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
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