Alignment Stage
-
ASXXY62621205-120-2404-D-42BH
.
- Size（mm）
- 620mm*620mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±10μm
- Angle of travel（°）
- ±2°
- Dynamic load（kg）：
- 80kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±12mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY75851205-110-3004-D-U(PCD70)-N
.- Size（mm）
- 750mm*750mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±4μm
- Angle of travel（°）
- ±2°
- Dynamic load（kg）：
- 120kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY-CF126-05-ZK-UVW
.- Size（mm）
- 538mm*1240mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±2.7°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±28mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY52523C5-115-5010-D-20230707
.- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 70kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY52523C5-115-5010-D
.- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 70kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY-MYN0355D03-B100-000-L-S10-EC
.- Size（mm）
- 458mm*659mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY80801402-118-203.6-DU(PCD70)-N
.- Size（mm）
- 800mm*800mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±4μm
- Angle of travel（°）
- ±1.8°
- Dynamic load（kg）：
- 100kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±10mm
- Number of axles：
- XXY
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