Alignment Stage
-
ASXXY56651002-95-3007-D-U(PCD70)-N
.
- Size（mm）
- 560mm*560mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3.5°
- Dynamic load（kg）：
- 100kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY80801402-118-203.6-DU(PCD70)-N
.- Size（mm）
- 800mm*800mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±4μm
- Angle of travel（°）
- ±1.8°
- Dynamic load（kg）：
- 100kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±10mm
- Number of axles：
- XXY
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