Alignment Stage
-
ASXXY25351002-90-3010-42F4
.
- Size（mm）
- 250mm*250mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 80kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY30301002-90-1408-42F4
.- Size（mm）
- 300mm*300mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±4°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±7mm
- Number of axles：
- XXY
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