Alignment Stage
-
ASXXY15180801-62-0806-D
.
- Size（mm）
- 150mm*150mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3°
- Dynamic load（kg）：
- 15kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±4mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY16170801-70-1817-D-42
.- Size（mm）
- 160mm*160mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±8.5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±9mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY25280801-79.5-1008-D
.- Size（mm）
- 250mm*250mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±4°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±5mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY262608C1-81.5-3018-D
.- Size（mm）
- 260mm*260mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±9°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY40400801-95-1806-D-42
.- Size（mm）
- 400mm*400mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±8mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY801353400801-75-1006-28-NX2
.- Size（mm）
- 80mm*340mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±10mm
- Number of axles：
- XXY
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