EVSXS Series
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EVSXS6-100G1/100G2/150G1/150G2
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- Direction：
- X轴
- Material：
- 不锈钢
- Size（mm）：
- 60mm*60mm
- Stroke length（mm）：
- 100mm,150mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 20mm/s,40mm/s
-
EVSYS6-__G
.- Direction：
- XY轴
- Material：
- 不锈钢
- Size（mm）：
- 60mm*60mm
- Stroke length（mm）：
- 30mm,50mm,75mm,100mm,150mm,200mm,300mm
- Unidirectional positioning accuracy（μm）：
- ±0.5μm,±1μm
- Speed（mm/s）：
- 20mm/s,40mm/s
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