Alignment Stage
-
ASXXY232551002-87-3010-D-U(PCD70)-N
.
- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±10°
- Dynamic load（kg）：
- 90kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY821850601-65-2020
.- Size（mm）
- 82mm*200mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±1μm
- Angle of travel（°）
- ±10°
- Dynamic load（kg）：
- 10kg
- Lead screw specifications：
- 0601
- Stroke length（mm）：
- ±10mm
- Number of axles：
- XXY
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