Alignment Stage
-
ASXXY101450601-57-1418-D
.
- Size（mm）
- 100mm*100mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±9°
- Dynamic load（kg）：
- 20kg
- Lead screw specifications：
- 0601
- Stroke length（mm）：
- ±7mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY1620-85-C2-D-BH1
.- Size（mm）
- 160mm*160mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±4μm
- Angle of travel（°）
- ±9°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0802
- Stroke length（mm）：
- ±9.5mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY262608C1-81.5-3018-D
.- Size（mm）
- 260mm*260mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±9°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
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