Alignment Stage
-
ASXXY25351002-90-3010-42F4
.
- Size（mm）
- 250mm*250mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±2μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 80kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY35351002-90-3010-D-42F3B
.- Size（mm）
- 350mm*350mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±3μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 80kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±15mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY455550601002-90-2210-D-U(PCD46)-N
.- Size（mm）
- 450mm*550mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±21mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY801353400801-75-1006-28-NX2
.- Size（mm）
- 80mm*340mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±10mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY52523C5-115-5010-D-20230707
.- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 70kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY52523C5-115-5010-D
.- Size（mm）
- 230mm*230mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 70kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY-MYN0355D03-B100-000-L-S10-EC
.- Size（mm）
- 458mm*659mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±5°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1205
- Stroke length（mm）：
- ±25mm
- Number of axles：
- XXY
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