Alignment Stage
-
ASXXY15180801-62-0806-D
.
- Size（mm）
- 150mm*150mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3°
- Dynamic load（kg）：
- 15kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±4mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY-52523-C2-6523-PJB-PCD46-S6
.- Size（mm）
- 250mm*250mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±5mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY35451002-95-1506-D-U(PCD46)-N
.- Size（mm）
- 350mm*350mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3°
- Dynamic load（kg）：
- 135kg
- Lead screw specifications：
- 1002
- Stroke length（mm）：
- ±7.5mm
- Number of axles：
- XXY
-
ASXXY40400801-95-1806-D-42
.- Size（mm）
- 400mm*400mm
- Positional repeatability（μm）：
- ±5μm
- Angle of travel（°）
- ±3°
- Dynamic load（kg）：
- 30kg
- Lead screw specifications：
- 0801
- Stroke length（mm）：
- ±8mm
- Number of axles：
- XXY
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